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產(chǎn)品名稱:芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液

發(fā)布時間:2024-12-31

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點:多相反應器和結晶器的混合、流動、傳遞及反應:利用計算流體力學、傳遞學、反應工程學、數(shù)學模型化以及多尺度方法,研究反應分離設備內的多相過程機理和變化規(guī)律,實現(xiàn)多相設備和過程的科學設計、放大、問題診斷、預測、優(yōu)化和調控。

芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的詳細資料:

    團隊利用自主開發(fā)的數(shù)值放大新技術和測量儀器,發(fā)明了一系列強化混合、傳質傳熱和反應的新型反應器,應用于攪拌反應器、固定床、膜反應器、微反應器、聚合反應器、環(huán)流反應器、漿態(tài)床、滴流床、結晶器、生物反應器等,實現(xiàn)了高濃度非均相反應器和結晶器的數(shù)值放大和過程強化從基礎理論走向工業(yè)應用的突破,并已在中石化等近20家石化、醫(yī)藥和精細化工企業(yè)應用,包括己內酰胺、有機硅、電子級化學品、藥物結晶、航天動力材料等,每年為企業(yè)新增利稅超過10億元。      

    利用計算流體力學、傳遞學、反應工程學、數(shù)學模型化以及多尺度方法,研究反應分離設備內的多相過程機理和變化規(guī)律,實現(xiàn)多相設備和過程的科學設計、放大、問題診斷、預測、優(yōu)化和調控。

工業(yè)問題:1、超高純電子級磷酸被國外長期壟斷,As/Sb等雜質導致芯片短路、失效;
          2、磷酸合成溫度高達1300℃,反應器極易腐蝕,金屬雜質帶入產(chǎn)品。

        支撐超高純電子級磷酸工藝,打破國外壟斷,實現(xiàn)進口替代和出口。

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